NanoCT-System „ntCT”

Industrielle Nano-Computertomographie ab sofort kommerziell verfügbar. Das System eignet sich für die mikroskopisch feine Untersuchung von Objektproben mit einer Auflösung von bis zu 150 Nanometern

Das Fraunhofer-Entwicklungszentrum Röntgentechnik EZRT des Fraunhofer-Instituts für Integrierte Schaltungen IIS hat gemeinsam mit seinen Partnern das NanoCT-System »ntCT« weiterentwickelt. Das verbesserte System ist ab sofort über den Systemintegrator ProCon X-ray kommerziell erhältlich. Die »ntCT« eignet sich für die mikroskopisch feine Untersuchung von Objektproben mit einer Auflösung von bis zu 150 Nanometern. Durch die Integration der aktuellsten Generation der Röntgenröhre liefert das System jetzt herausragende Auflösung bei gleichzeitig deutlich verkürzter Messzeit.

Die wesentlichen Funktionsmerkmale neuartiger Werkstoffsysteme beruhen häufig auf ihren komplexen inneren Strukturen, die mit gängigen zerstörungsfreien Analysemethoden nicht zugänglich sind. Auch die Herstellung von Mikroelektronik und Mikromechanik wird immer komplexer, kompakter und zudem dreidimensional. Nach Jahrzehnten erfolgreicher Miniaturisierung produziert die Industrie heute Strukturen, die für die Untersuchung mit gewöhnlichen Systemen oft zu fein sind.

 

Weitere Informationen finden Sie hier.

Bild: 
3D-Analyse mit mikroskopischer Auflösung: Eine beispielhafte Anwendung ist die hier gezeigte Qualitätskontrolle und Schadensanalyse von Li-Elektroden für die neuartige Batterieforschung mit einer Voxel-Probenahme von 140 Nanometern.© Fraunhofer IIS